有机-金属真空热蒸镀仪（AHU-XNJJ20230241）采购公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目名称：有机-金属真空热蒸镀仪
项目编号：AHU-XNJJ20230241
采购单位：安徽大学
联系人： 中标后在我参与的项目中查看
联系电话：中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求：
到货时间要求：
预算总价：登录即可免费查看
收货地址：安徽大学磬苑校区
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品:有机-金属真空热蒸镀仪
采购数量:1
计量单位:项
预算单价:登录即可免费查看
技术参数及配置要求:一、技术参数及要求：
推荐品牌型号为武汉普迪真空科技有限公司（型号：PD-400S）、苏州方昇光电股份有限公司（型号：FS380-S8）和沈阳奇汇真空技术有限公司（型号：QHV-R96)
1. 真空腔室：真空专用304不锈钢腔室镜面抛光处理，前门导轨采用进口双导轨设计，真空室内外表面抛光处理。腔室预留有照明和膜厚仪等设备接口，前后均可开门；
2. 真空系统：德国普发分子泵、德国莱宝机械泵+直联旋片泵真空系统,超静音气动插板阀，真空测量： 一低一高数显复合真空计（量程从大气到3E-9torr）；
3. 真空极限：优于5.0×10-5Pa；
4. 漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa；（手套箱环境连续烘烤抽真空） 抽速：抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于25min；(手套箱环境）
5. 基片台：抽屉式结构，承载最大小于150*150MM样品，配气动基片大挡板。样品台水冷。样品台旋转：样品片台可旋转，0～30转／分 连续可调；
6. 蒸发源及电源：配4组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构；配备日本TDK进口高精度蒸发电源1套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。可以手动控制。 蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率，带数显。配备2组束源式有机蒸发源，向心角度可微调，带磁流体密封挡板，配备2台国际品牌有机蒸发电源，导电温控仪可精确控温；
7. INFICON 石英晶振膜厚控制仪：石英晶振膜厚控制仪，带水冷探头至少2套，监测厚度显示范围 0-99.99μm；显示及控制精度：0.01埃，预留共蒸用探头位置和接口；
8. 控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制；
9. 报警及保护：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；
10. 提供三套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。随设备提供一定量的蒸发舟及晶振片耗材，提供设备正常运转的一切必备配件（如水冷机等）。
二、报价要求：
供应商报价时从推荐3个品牌型号武汉普迪真空科技有限公司（型号：PD-400S）、苏州方昇光电股份有限公司（型号：FS380-S8）和沈阳奇汇真空技术有限公司（型号：QHV-R96)中选择1个进行报价，报价时在竞价网品牌型号栏目注明所报品牌型号，不注明或者注明其他品牌型号的为无效报价。
三、质疑与答复：
供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：441924448@qq.com 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：63861033，联系人：袁老师。逾期不予受理。
四、特别提醒：
1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。
2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。
3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。
（1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的；
（2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的；
（3）不按竞价要求或合同约定履约的；
（4）其他违反法律法规和采购规定的。
详情请访问原网页！
项目编号：AHU-XNJJ20230241
采购单位：安徽大学
联系人： 中标后在我参与的项目中查看
联系电话：中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求：
到货时间要求：
预算总价：登录即可免费查看
收货地址：安徽大学磬苑校区
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购商品:有机-金属真空热蒸镀仪
采购数量:1
计量单位:项
预算单价:登录即可免费查看
技术参数及配置要求:一、技术参数及要求：
推荐品牌型号为武汉普迪真空科技有限公司（型号：PD-400S）、苏州方昇光电股份有限公司（型号：FS380-S8）和沈阳奇汇真空技术有限公司（型号：QHV-R96)
1. 真空腔室：真空专用304不锈钢腔室镜面抛光处理，前门导轨采用进口双导轨设计，真空室内外表面抛光处理。腔室预留有照明和膜厚仪等设备接口，前后均可开门；
2. 真空系统：德国普发分子泵、德国莱宝机械泵+直联旋片泵真空系统,超静音气动插板阀，真空测量： 一低一高数显复合真空计（量程从大气到3E-9torr）；
3. 真空极限：优于5.0×10-5Pa；
4. 漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa；（手套箱环境连续烘烤抽真空） 抽速：抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于25min；(手套箱环境）
5. 基片台：抽屉式结构，承载最大小于150*150MM样品，配气动基片大挡板。样品台水冷。样品台旋转：样品片台可旋转，0～30转／分 连续可调；
6. 蒸发源及电源：配4组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构；配备日本TDK进口高精度蒸发电源1套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。可以手动控制。 蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率，带数显。配备2组束源式有机蒸发源，向心角度可微调，带磁流体密封挡板，配备2台国际品牌有机蒸发电源，导电温控仪可精确控温；
7. INFICON 石英晶振膜厚控制仪：石英晶振膜厚控制仪，带水冷探头至少2套，监测厚度显示范围 0-99.99μm；显示及控制精度：0.01埃，预留共蒸用探头位置和接口；
8. 控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制；
9. 报警及保护：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；
10. 提供三套掩膜板，图案根据客户要求设计，样片与掩膜板的配合间隙小于0.1mm。随设备提供一定量的蒸发舟及晶振片耗材，提供设备正常运转的一切必备配件（如水冷机等）。
二、报价要求：
供应商报价时从推荐3个品牌型号武汉普迪真空科技有限公司（型号：PD-400S）、苏州方昇光电股份有限公司（型号：FS380-S8）和沈阳奇汇真空技术有限公司（型号：QHV-R96)中选择1个进行报价，报价时在竞价网品牌型号栏目注明所报品牌型号，不注明或者注明其他品牌型号的为无效报价。
三、质疑与答复：
供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：441924448@qq.com 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：63861033，联系人：袁老师。逾期不予受理。
四、特别提醒：
1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。
2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。
3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。
（1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的；
（2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的；
（3）不按竞价要求或合同约定履约的；
（4）其他违反法律法规和采购规定的。
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