基本信息
| 省份 |
江苏 |
城市 |
无锡市 |
| 招标代理机构 |
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项目名称 |
东南大学微纳平台TSV-ALE集成刻蚀系统采购项目 |
| 采购单位 |
东南大学
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采购联系人 |
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| 采购电话 |
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招标公告
| 项目概况 东南大学微纳平台 TSV-ALE 集成刻蚀系统采购项目的潜在投标人应在 e 交易平台 11 月 21 日 09 点 30 分（北京 时间）前递交投标文件。 |
一、项目基本情况
1.1 项目编号：JC203224093757
1.2 项目名称：东南大学微纳平台 TSV-ALE 集成刻蚀系统采购项目 1.3 预算金额：450 万元
1.4 最高限价：450 万元
1.5 采购需求：
项目地点：东南大学无锡校区
项目概况：微纳平台采购 TSV-ALE 集成刻蚀系统 1 套，主要技术要求如下：（一）工艺腔室配置
1. 反应腔室独立模块化设计，方便维护与保养
2. 作业温度范围可覆盖-20~90 ℃，温度控制±0.5 ℃，可实现深硅刻蚀工艺，可实
现 GaN、GaAs 等多种半导体材料可控原子层刻蚀工艺
3. 传送模块配备高精度晶圆位置传感器，可兼容 6/8 寸晶圆
（二）供气与真空系统
1. 配备高速响应 MFC，响应速度<50 ms，实现精准控制短脉冲式刻蚀工艺中的工
艺气体通入流量与时长
2. 机械泵抽速不小于 600 m3/h，配备分子泵，腔室极限压力小于 4×10-6 Torr，真 空漏率小于 2 mTorr/min
3. 配备高精度压力传感器，可实时检测腔室压力，检测范围覆盖 0~10 Torr（三）射频等离子体系统
配置高功率脉冲射频电源，频率可调；最大功率不低于 2000W，最小功率不高于 5
W，调节分辨率优于 0.1 W；配备偏压 Bias 射频源，最大功率不小于 1000W，最小功
率不高于 5 W，调节分辨率优于 0.1 W。
不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。
1.6 合同履行期限：合同签订后 90 天内设备安装调试合格。
1.7 行业划分：工业
1.8 本项目(非专门)面向中小企业采购。
1.9 本项目(非专门)面向监狱企业来购。
1.10 本项目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。
1.11 本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
2.1 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为 自然人的，提供其身份证）；
（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供 2023 年度的财务报告，或投 标截止时间前六个月内银行出具的资信证明）；
（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需 要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；
（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半 年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险
缴纳清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；
（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无
2.2 落实政府采购政策需满足的资格要求：无。
2.3 采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料 或者情况说明：无。
2.4 第 2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令 停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。
2.5 供应商在参加政府采购活动前 3 年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采 购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。
2.6 单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一 合同项下的政府采购活动。
为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不
得再参加该采购项目的其他采购活动。
2.7 拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信 行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商
参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政
府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。
三、获取招标文件
3.1 时间：2024 年 10 月 31 日至 2024 年 11 月 7 日 17:30。（北京时间，法定节假 日除外）
3.2 地点：登录 e 交易平台（以下简称平台）网址为：https://www.ejy365.com 3.3 方式：
（1）凡有意参加投标者，请于获取时间内登录 e 交易平台按照要求进行实名会员 注 册 、 完 善 相 关 信 息 及 选 择 项 目 报 名 、 下 载 招 标 文 件 ， 平 台 网 址 为 ：http://www.ejy365.com。下载者首次登录平台前，须前往平台免费注册，注册成功且 完善相关信息后，可以及时参与平台上所有发布的项目。
（2）下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、购标确认、费用支付所 需时间，下载者必须在获取时间内完成支付，否则将无法保证获取招标文件。未按照本
公告要求获得本项目招标文件的，招标代理机构不予接收其投标文件。
（3）下载者需要发票的，须通过平台“资金管理”模块进行操作。招标文件服务 费发票由招标代理机构开具；下载者选择开具增值税普通发票的，可在“资金管理--标 书费电子发票”下载增值税电子普通发票；选择开具增值税专用发票的，可在“资金管 理--专用发票申请”中填写相关信息；平台服务费发票由江苏易交易信息科技有限公司 开具。非因招标代理机构或平台原因，发票一经开具不予退换。
（4）平台网站首页“帮助中心”提供操作手册，下载者可以下载并根据操作手册 提示进行注册、登录等操作。易交易平台技术支持联系方式
供应商技术支持热线：400-828-0799（工作时间：9:00-11:30,13:30-19:00）供 应 商 项 目 参 与 操 作 说 明：https://www.ejy365.com/upload/link/2022/08/30/48e1dd12-5050-4bbf-bfc9-
a0d7a037ba1c.pdf 技术支持服务态度不满意投诉热线：400-828-0799 转 0。
（5）联合体投标（如允许）的，联合体各方应当指定牵头人，并授权其以自身名 义在平台办理注册、下载文件、缴纳保证金等手续，其在平台的办理行为，对联合体各
方均具有约束力。
3.4 纸质招标文件服务费每套 400 元，售后不退。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
4.1 2024 年 11 月 21 日 09 点 30 分（北京时间）
4.2 提交投标文件地点及开标地点：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 栋 11 楼开标 2 室
投标人前来投标的授权代表，必须为本单位员工，需提供投标人为其缴纳的截止至投
标截止时间前 3 个月（2024 年 8 月-2024 年 10 月）的社保缴纳证明材料。
投标人因故未出席开标会的，视同同意本项目开标结果。
4.3 投标人应提供投标文件一式伍份（正本壹份、副本肆份），所有投标文件均应密封 后递交，同时应提供电子版投标文件壹份（电子版须为投标文件正本加盖公章、签字后形 成 PDF 扫描件，扫描件内容应与纸质投标文件正本完全一致、U 盘形式（单独封装）、随 纸质正本文件一并提交）。当电子版文件和纸质正本文件不一致时，以纸质正本文件为准
电子版文件用于辅助评标和平台存档，投标人需承担前述不一致造成的不利后果。
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
6.1 本项目在中国政府采购网网站发布公告。
6.2 投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”
获取招标文件，编制、提交投标文件，并按“标段”开标、评标。6.3 勘察现场：无。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系 7.1 采购人信息
名 称：东南大学
地址：南京市四牌楼 2 号
联系方式：微纳平台 贺老师，电话：025-83792632；实验室与设备管理处：刘老师，电话：025-83792693。
7.2 采购代理机构信息
名 称：江苏省设备成套股份有限公司
地 址：南京市鼓楼区清江南路 18 号鼓楼创新广场 D 座 9 楼 908 室 联系人：
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联系方式：
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邮箱：licj@jcec.cn
7.3 项目联系方式
联系人：李晨娟 褚燕琳
联系方式：
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采购代理机构：江苏省设备成套股份有限公司
2024 年 10 月 31 日
