西安微电子技术研究所动力长安超高纯氢气纯化器氧气纯化器采购项目变更公告
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西安微电子技术研究所动力长安超高纯氢气纯化器氧气纯化器采购项目变更公告
招标方： 西安微电子技术研究所
发布时间：2023-01-12 15:43:06, 浏览次数：21
项目行业: 货物 | 信息电子 | 电子元器件及专用设备
招标项目编号：C1100000189007140001
招标项目名称：动力长安超高纯氢气纯化器氧气纯化器
标段（包）编号：C1100000189007140001001
标段（包）名称：西安微电子技术研究所动力长安超高纯氢气纯化器氧气纯化器采购项目
公告内容：1.原招标公告及招标文件中设备用途说明：超高纯氢气纯化器主要用于高纯氢气的提纯工艺，达到超高纯氢气后，向新集成电路事业部供应。超高纯氧气纯化器主要用于高纯氧气的提纯工艺，达到超高纯氧气后，向新集成电路事业部供应。现变更为：超高纯氢气纯化器主要用于高纯氢气的提纯工艺,达到超高纯氢气后,向六英寸Fab厂供应。超高纯氧气纯化器主要用于高纯氢气的提纯工艺,达到超高纯氢气后,向六英寸Fab厂供应。 2.原招标文件第五章技术要求3.设备主要技术要求*3.5设备生产厂家有向6或8或12吋半导体生产线供应设备的业绩。现变更为：*3.5设备生产厂家有向6或8或12吋半导体生产线供应设备的业绩,同时投标时需提供有效的业绩合同复印件等证明材料。
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