8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机评标结果公示公告(1)
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
【中国国际招标网】
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机
招标项目编号：0709-244035614008
招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-04-25 09:30
公示开始时间：2024-05-15 14:22
评标公示截止时间：2024-05-16 14:00
中标候选人名单：
项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机
招标项目编号：0709-244035614008
招标范围：设备名称：金属刻蚀机设备数量：1台设备用途：本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜刻蚀工艺。
招标机构：中国仪器进出口集团有限公司
招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
开标时间：2024-04-25 09:30
公示开始时间：2024-05-15 14:22
评标公示截止时间：2024-05-16 14:00
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 江苏鲁汶仪器股份有限公司 | 中国 |
| 2 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 中国 |
| 3 | 合肥英仕博精密装备有限公司 | 合肥英仕博精密装备有限公司 | 中国 |
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