双靶磁控溅射镀膜仪-中南大学-竞价公告(CB119422024001241)
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审批时间 | 审批结果 | ||
建设内容 |
中南大学 - 竞价公告 (CB119422024001241)
发布时间:2024-06-04 08:51:30 截止时间:2024-06-07 09:01:17
基本信息:
申购主题:双靶磁控溅射镀膜仪
报价要求:国产含税
发票类型:增值税专用发票
付款方式:货到验收合格后付款
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
预算:****** 人民币
收货地址:湖南省/长沙市/岳麓区/****
供应商资质:
备注说明:
采购明细:
序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | 双靶磁控溅射镀膜仪 | 1/台 | 不限 | 不限 | 1. 电源电压:220V 2. 极限真空度:优于10-5Pa,进口分子泵 3. 样品台加热温度:室温~500℃ 4. 靶枪数量:2个,一个直流,一个射频 5. 靶枪冷却方式:水冷 6. 靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1-5mm 7. 载样台:~Ø100mm (80~140mm之间均可以) 8. 带膜厚监测仪 9. 膜厚不均匀性:≤±3% 10. 载样台转速:转速在一定范围内可调 11. 工作气体:Ar等惰性气体 12. 可镀金属、非金属、铁电等材料,如银、铝、铜、镍、铬、镍铬合金、氧化钛、ITO、二氧化硅等 13. 可移动的柜/箱式整机设备 14. 触屏或电脑软件自动化控制系统 | 质保期为2年。 |