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半自动硅光测试台采购(XHGD-CG-2024322)采购公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容





项目名称 半自动硅光测试台采购 项目编号 XHGD-CG-2024322
公告开始日期 2024-09-06 10:30:11 公告截止日期 2024-09-09 12:00:00
采购单位 西湖大学光电研究院 付款方式 预付40%,到货后支付50%,验收合格后支付10%
联系人 成交后在我参与的项目中查看 联系电话 成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 签约后120个自然日
预算总价 登录即可免费查看.00 + NaN + NaN
发票要求 增值税普通发票 增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址 杭州市富阳区春江街道江南路68号西湖大学光电研究院508
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明



采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
半自动硅光测试台 1 无 无

品牌 品牌1
型号
品牌2
型号
品牌3
型号
品牌4
型号
品牌5
型号
品牌6
型号
预算单价 登录即可免费查看.00
技术参数及配置要求 设备整体要求:实现硅光晶圆(8英寸,兼容单芯片)半自动耦合以及DC和RF测试。
1. 一套探针台,适应8英寸硅光晶圆测试,超大工作台面,平整度不低于±5μm, 微调角度不低于±10°,XYZ载物平台重复定位精度不低于±1μm。载物台吸附固定晶圆,吸附孔独立控制。可兼容定制化单芯片测试;
2. 两套耦合模组,XYZ耦合分辨率不低于0.1um。三套耦合夹具,即一套水平光纤耦合、一套水平FA耦合、一套垂直单光纤耦合;
3. 两套射频探针座,采用磁吸,调节范围不低于±15mm,调节分辨率0.5um,行程可定制;
4. 六套DC探针针座,采用高精度4轴位移平台,重复定位精度0.5um,行程不低于10mm;
5. 一套相机定位系统,辅助DC探针针座的定位、晶圆芯片的视觉识别及引导探针台XYZ轴运动,视觉精度不低于10um;
6. 两套标准光学显微镜,倍率 0.7-4.5 倍连续变焦,综合放大不低于400倍;
7. 一套非接触式激光测高仪,对晶圆表面平整度测量:分辨率不低于 2nm,测量精度不低于0.5μm;
8. 配备00级大理石光学平台,气浮隔离环境振动;
9. 控制软件自动完成探针的扎针和晶圆的位移,自动生成MAP图,可以灵活配置,适用不同规格参数的测试,可定制化界面和测试模块;
10. 若为进口设备投标,请按人民币报价(报价需包含外贸代理费)。
参考链接
售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;



2024-09-06 10:30:11
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