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大额自行采购结果公示-202405170007

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
大额自行采购结果公示 - 202405170007
申购单名称: SG2024002696001 真空原子溅射沉积系统
申购单类型: 自行采购
使用币种: 人民币


申购明细详情
序号 申购名称 计量单位 品牌 型号 技术参数 采购内容说明 供应商名称 成交数量 单价 成交金额
1 真空原子溅射沉积系统 亚润丰 定制 真空室为方形腔体,全部采用SUS304不锈钢制成,尺寸大致为500mm×500mm×400mm。
真空室装有可以完全打开快开门,打开后可以对腔体内部进行维护,配有一个观察窗。
腔体的极限真空为8x10-5Pa,在氮气保护下开门装卸基片后,重新抽真空可在15分钟内达到的真空度为:5x10-4Pa。
久泰真空水冷脂润滑分子泵,抽速:1300L/S
Baosi机械泵 BSV 30 30m3/H 抽速约:8L/S
薄膜规,精确测量和控制镀膜时的真空度。
复合真空计。(两低一高) 测量范围大气---1x10-5P
采购真空沉积系统,拟实现真空环境,为溅射贵金属提供洁净氛围。 沈阳亚润丰科技有限公司 1 登录即可免费查看 登录即可免费查看
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