ALD原子层沉积系统拆装搬迁调试与维护（校分房2024005）单一来源公示
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
“ALD 原子层沉积系统拆装搬迁调试与维护 项目 单一来源 采购 公示
一、 项目概况
ALD 原子层沉积系统是一种先进的薄膜沉积设备，广泛应用于 材料科学、物理学、电子与通信技术、动力与电气工程等多个领域。
该系统通过精确控制气相前驱体在沉积基体表面的气固相化学吸附 反应，形成单原子层超薄膜。具有较高的技术要求。
二、项目内容
| 申请单位 | 集成电路学院 |
| 项目名称 | ALD 原子层沉积系统搬迁调试维护 |
| 项目内容 | 拆机﹑搬运﹑组装﹑调试﹑校准与维护等 |
| 拟定供应 商(名称、地址) | 江苏迈纳德微纳技术有限公司 无锡市新吴区菱湖大道 228 号天安智慧城 3-104 |
| 参考报价 | 80000 元 |
| 单一来源 采购理由 | ALD 原子层沉积系统是贵重仪器，资产编号 18007972，型号为：MNT-S100 System，由江苏迈纳 德微纳技术有限公司生产。现需将该设备从江南大 学先进技术研究院搬迁至江阴校区集成电路学院。 |
| 在此搬迁过程中，需要对 ALD 系统进行拆卸、搬 运、重新组装、调试和维护。这涉及多个关键部件 的操作，包括真空连接、无油真空泵的维护、电磁 阀门的维护、前驱体系统的维护以及与原有控制系 统的电气连接等。此外，搬迁后还需对沉积样品进 行测试和校准，以确保设备的性能和精度。由于这 些操作的技术复杂性和精度要求极高，为确保搬迁 过程的准确性、安全性和设备的最佳性能，必须由 原厂或其授权的售后服务商完成。 | |||
| 论证专家 | 姓 名 | 职 称 | 工作单位 |
| 梁峻阁 | 副教授 | 集成电路学院 | |
| 姜岩峰 | 教授 | 集成电路学院 | |
| 朱华新 | 副教授 | 理学院 | |
| 备注 | |||
三、公示期为：2024.07.16—2024.07.23
提示：任何单位、组织或个人对本项目采用单一来源方式如有 异议，请在公示截止日期之前以书面的形式反馈我单位，非常感谢 您的参与。
联系电话：0510-85913566
电子邮箱：cgzbzy@jiangnan.edu.cn
江南大学采购与招标管理办公室 2024 年 7 月 16 日
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