湿法刻蚀机-上海工程技术大学-竞价公告(CB108562024000102)
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上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000102)
发布时间：2024-08-06 12:22:49 截止时间：2024-08-09 12:32:46
基本信息：
申购主题：湿法刻蚀机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后70天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：登录即可免费查看 人民币
收货地址：上海市/市辖区/松江区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：
| 序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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| 1 | 湿法刻蚀机 | 1(台) | 登录即可免费查看 | 不指定 | S-1 | 1.刻蚀机适用于6寸硅片的清洗。参数如下： 序号 名称 规格 化学液 1 S-1刻蚀机 6寸 25片（一盒） 待定（非溶剂） 1.1操作方式 手动装卸硅片架，其它所有操作手动完成。 所有化学液手动注入，DI水自动注入，化学液的排放可根据客户要求弹性设定。 2.刻蚀机技术方案 1. 机 体： PP抗静电板焊接而成（下图为大致示意图） a) 尺寸： 约800L X 1400W X 1900H mmb) 色泽： 9010白 c) 板材厚度： 10mm d) 厂家： 进口 药剂槽 Tank1# a. 材质： PP（四周板10mm，底板10mm） b. 化学药品： 酸性或碱性化学品（如SC1，SC2，DHF） c. DI供给方式： 自动方式 d. Chemical供给方式： 手动，三点N2液位保护 e. 形状： 循环槽体（外槽溢流，内槽进液） f. 循环泵： PP隔膜泵 g. 过滤器外壳： 10寸PP过滤器（不含滤芯） h. 制程温度： RT i. 排液方式： 重力排放，口径 | 按行业标准提供服务 | 6inch刻蚀机方案.pdf |
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