硅基光电子芯片流片（WLU-HW-DY-NM-2024-0671）单一来源公示
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
单一来源采购公示
采购编号：WLU-HW-DY-NM-2024-0671
西湖大学将对《硅基光电子芯片流片》项目进行单一来源采 购。本次采购的有关事项如下：
一、采购项目：
| 序号 | 采购项目 名称 | 主要技术参数 | 单 位 | 数 量 | 预算（人民 币） |
| 1 | 硅基光电 子 芯片流片 | 1.端面耦合器：＜1.5dB/ facet 2.热光移相器：<2 mW/π 3. 锗 硅 探 测 器 ： 带 宽 ＞ 28GHz 4. 含 70nm、60nm、90nm 三 次硅刻蚀工艺 5.6 种硅波导掺杂工艺 | 件 | 1 5 | 480,000. 00 |
| 合计 | 480,000. 00 | ||||
二、拟定供应商信息
公司全称：苏州光骏河岳信息科技有限公司
注册地址：苏州市吴中区光福镇福利路 15 号 1 号楼 201 室
三、单一来源说明
本次 MPW 流片用于研学研究，为实现系统层面的硅光集成。根据项目及设计需求，国内外标准 CMOS 流片工艺平台需具有成 熟的硅基有源/无源器件工艺，并提供高性能 PDK。本项目前期通 过与苏州光骏河岳信息科技有限公司沟通交流，明确 AMF 提供标 准的 MPW 有源工艺可以实现前向反馈均衡器（FFE)、自相干接 收器（self-coherent detection）、相干收发机（coherent
transceiver）等系统级集成的设计及流片需求，且该流片平台具 有 完 善 的 PDK 器 件 库 。 项 目 设 计 所 需 PDK 元 器 件 MMI、PD、phase shifter、PBRS、PBRC 和 edge coupler 等
综合评估系统搭建性能优越。项目组通过调研国内外主流 MPW 流片工艺平台：IMEC、AMF、CompoundTek、CUMEC 等。
其中 IMEC 不提供高速器件 PDK，流片加工超过一年，回片周期 长。CompoundTek 端面耦合损耗 1.5-2.0dB,指标低于 AMF＜
1.5dB/facet 。 CUMEC 的 C 波 段 的 光 电 探 测 器 带 宽 仅 为
20~40GHz，无法满足项目需求，且流片的回样时间也更长。因
此，AMF 工艺流片平台是最佳制造平台选择平台。
苏州光骏河岳信息科技有限公司为 AMF 独家项目授权合作单
位。该公司专注于光电子集成技术领域，提供光电子集成芯片设
计、PDK 搭建及多材料体系半导体（SOI/Si3N4/LNOI/SiO2）流
片服务，具有丰富的项目经验。
综上所述，苏州光骏河岳信息科技有限公司是本项目目前唯
一符合需求的供应商。因此，申请该项目进行单一来源采购。
四、质疑和投诉：
谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起 5 个工作日内以书面形式向采购机构提出 质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益 受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工 作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机 构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向西湖大学采购工作办公室投 诉：
采购工作办公室 电话：0571-86886869
联系邮箱：procurement@westlake.edu.cn
如发现违法违纪行为，请与西湖大学纪检监察办公室联系：监督电话：0571-87923193
联系邮箱：jijian@westlake.edu.cn
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