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材料系YURYILLARIONOV课题组离子束刻蚀机采购申请成交公告

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2024-00138
竞采结果公告
项目名称 材料系YURY ILLARIONOV课题组离子束刻蚀机采购申请
项目编号 SUSTech-JC-2024-00138
项目类型 货物类
成交方式 最低价成交
公示时间 本公告自发布之日起三日
成交单位 北京创世威纳科技有限公司
成交金额(元) 登录即可免费查看.00
成交理由 最低价成交
预算(元) 登录即可免费查看.0
项目预算是否含税 国产含税
备注




采购明细
序号 名称 数量 单位 单价/元(报价) 总价/元(报价)
1
离子束刻蚀机(核心货物)
1

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是否接受进口
拒绝进口
品牌
创世威纳
型号
DISC-IBE-150C
生产厂商
北京创世威纳科技有限公司
产地信息
北京
技术规格及参数
1.真空室尺寸为:直径500mm×高500mm,有前后两个门,后门便于离子源的维护
2.离子源种类:考夫曼直流离子源(栅网直径为16cm)
3.可刻蚀的材料:金属,金属氧化物,介质,二维材料等
4.刻蚀工艺气体:Ar
5.设备整机尺寸为长1500mm×宽1000mm×高1700mm
6.设备整机重量为750kg
7.设备可装载最大样片尺寸:Φ4英寸
8.设备支持基于PLC及上位机的全自动和半自动控制
9.设备极限真空度为6.7×10-5Pa
10.设备漏率不超过5×10-7Pa·L/s
11.设备系统停泵关机12小时后,真空度≤5Pa
12.设备系统充干燥N2解除真空,短时暴露大气后抽气至5×10-3Pa≤15min,9×10-4Pa≤25min
13.设备刻蚀不均匀性:φ4英寸范围内≤±5%
14.设备刻蚀角度可调节,调节范围从-45°到+90°,调节精度为1°
15.设备刻蚀过程中样品台可自转,自转速度为0-30rpm可调
16.设备刻蚀距离固定为25cm
17.样品表面冷却温度为5℃-35℃
18.设备软件界面支持中英文双语
质保期
我司提供一年质保,质保期间不收取材料费,维修费及人工服务费。质保期从设备验收完成开始计算。
售后要求
我司在前述保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。 在前述保修期内,如货物出现损坏和故障,招标人报修后,我司会在24小时内响应,48小时内派员上门现场维护,并在72小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,我司提供相同档次、功能的设备给招标人代用。我司售前、售中、售后都能够无障碍地用英文或者俄罗斯语与招标单位项目负责人沟通,包括口头和书面的沟通。

付款方式 合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款;设备到达指定安装现场且安装、调试合格并提供全额发票后,经学校确认无质量问题后支付70%的货款。
交货期 合同签订后75天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前7天(自然日)通知送货
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