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晶锭轮廓测量仪(GY202403068)自购结果公示

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
晶锭轮廓测量仪(GY202403068)自购结果公示
发布时间:2024-08-06
该项目经自行采购程序,允许自购:
供应商: 苏州瑞霏光电科技有限公司
中标金额: 登录即可免费查看

公示开始日期 2024-08-06 公示截止日期 2024-08-07 16:15:32
采购单位 新一代半导体材料研究院 付款方式 货到验收合格后付款
签约时间要求 到货时间要求
收货地址 山东大学 新一代半导体材料研究院1楼

采购清单1
采购物品 采购数量 计量单位
晶锭轮廓测量仪 1

品牌 瑞霏 规格型号 JDM200
技术参数 1、采用非接触测量方式;
2、测量晶锭上盖数据和侧面轮廓;
自动生成晶锭界面轮廓曲线;3、
4、自动计算最高点、最低点位置;保存最高点、最低点数据,5、生成晶锭 Map 厚度简图,简图里显示厚度最大最小值,凸率值边缘下搭值的最大最小平均值、样品编号;
6、具有新建配方模板功能,测量出直径并附在简图中;7、自动生成凸率图,在凸率简图中左上角加入最大、最小、平均凸率以及中心厚度8、保存数据,数据输出最大最小厚度差值,以及(边缘最大减最小数值)保存晶锭俯视图;
9、测量晶锭高度 5mm-35mm;
10、晶锭直径:150mm-255mm;
11、测量精度:0.2mm;
附件:
1、高精度校准图形发生器
2、高分辨双相机图像采集模组
3、直线运动模组
4、侧面面轮廓采集模块
5、光谱共焦数据采集模块
6、运动控制模块
7、工作电脑及显示器
8、系统主机柜
售后服务 服务网点:当地;质保期限:3年;响应期限:报修后2小时;

资产与实验室管理部
2024-08-06
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