清华大学真空干法刻蚀设备公开招标公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目概况
真空干法刻蚀设备 招标项目的潜在投标人应在网上登记报名网址 http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年12月23日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第20221421号
项目名称：真空干法刻蚀设备
预算金额：700.0000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：700.0000000 万元（人民币）
采购需求：
设备用途介绍 ：
主要用于微纳加工工艺中4英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料和介质薄膜材料的刻蚀工艺。
简要技术指标 ：
1）Cl基气氛的干法刻蚀设备应具备采用感应耦合等离子刻蚀4”及以下基片上的多种金属薄膜材料（Al、Pt、Ti、Cr等）的能力
2）F基气氛的干法刻蚀设备应具备采用感应耦合等离子刻蚀4”及以下基片上的多种介质薄膜材料（Al2O3、TiO2、SiO2、SiNx等）的能力
3）刻蚀精度片内，片间均匀性小于3%
合同履行期限：交货时间：合同签订后10个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等
3.本项目的特定资格要求：1）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；3）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；
三、获取招标文件
时间：2022年12月02日 至 2022年12月09日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：网上登记报名网址 http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：在线登记获取招标文件，经审核后，下载电子版招标文件
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年12月23日 09点00分（北京时间）
开标时间：2022年12月23日 09点00分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第三评标室（（如开标时仍处于疫情期间，为了减少人员密集，可能以邮寄投标文件为推荐方式。如能入校，每个投标人只能有不超过1名授权代表出席开标仪式）。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：北京海淀区清华大学华业大厦1区5层
联系方式：登录即可免费查看 登录即可免费查看 yangjingsbc@tsinghua.edu.cn
2.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话： 010-登录即可免费查看
真空干法刻蚀设备 招标项目的潜在投标人应在网上登记报名网址 http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年12月23日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第20221421号
项目名称：真空干法刻蚀设备
预算金额：700.0000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：700.0000000 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| 01 | ICP金属刻蚀机 | 1套 | 是 |
| ICP介质刻蚀机 | 1套 | 是 |
设备用途介绍 ：
主要用于微纳加工工艺中4英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料和介质薄膜材料的刻蚀工艺。
简要技术指标 ：
1）Cl基气氛的干法刻蚀设备应具备采用感应耦合等离子刻蚀4”及以下基片上的多种金属薄膜材料（Al、Pt、Ti、Cr等）的能力
2）F基气氛的干法刻蚀设备应具备采用感应耦合等离子刻蚀4”及以下基片上的多种介质薄膜材料（Al2O3、TiO2、SiO2、SiNx等）的能力
3）刻蚀精度片内，片间均匀性小于3%
合同履行期限：交货时间：合同签订后10个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等
3.本项目的特定资格要求：1）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；3）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；
三、获取招标文件
时间：2022年12月02日 至 2022年12月09日，每天上午8:00至12:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：网上登记报名网址 http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：在线登记获取招标文件，经审核后，下载电子版招标文件
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年12月23日 09点00分（北京时间）
开标时间：2022年12月23日 09点00分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第三评标室（（如开标时仍处于疫情期间，为了减少人员密集，可能以邮寄投标文件为推荐方式。如能入校，每个投标人只能有不超过1名授权代表出席开标仪式）。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：北京海淀区清华大学华业大厦1区5层
联系方式：登录即可免费查看 登录即可免费查看 yangjingsbc@tsinghua.edu.cn
2.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
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