北京量子信息科学研究院科研仪器设备激光直写光刻机单一来源采购公示
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
一、项目信息
采购人：北京量子信息科学研究院
项目名称：科研仪器设备激光直写光刻机
拟采购的货物或者服务的说明：
激光直写光刻机1套
拟采购的货物或服务的预算金额：440.0000000 万元（人民币）
采用单一来源采购方式的原因及说明:
半导体量子逻辑器件尺寸的不断微缩化，以及电子束曝光机的禁运限制，急需找到在电子束曝光之外的高精度加工设备，以满足批量制备半导体量子点逻辑器件的需求。经过调研高精度的激光直写光刻机是最具可行性的方案。为满足高精度、高速的加工半导体量子逻辑器件，我们在全球范围内对比了多种激光直写设备，目前只有Heidelberg Instruments生产的型号为DWL66+的激光直写光刻机最小线宽精度可以达到0.3 μm，满足需求。华格科技（苏州）有限公司是Heidelberg Instruments 在中国大陆的唯一代理商。
综上，特申请单一来源形式采购，通过华格科技（苏州）有限公司采购所需的激光直写光刻机。
二、拟定供应商信息
名称：华格科技（苏州）有限公司
地址：苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3
三、公示期限
2022年08月29日 至 2022年09月05日
四、其他补充事宜：
专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。
由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
本公示在中国政府采购网发布。
五、联系方式
1.采购人
联系人：北京量子信息科学研究院
地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼
联系方式：登录即可免费查看 转 8052
2.财政部门
联系人：北京市财政局采购处
联系地址：北京市通州区承安路3号
联系电话：010-55592405
3.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看
采购人：北京量子信息科学研究院
项目名称：科研仪器设备激光直写光刻机
拟采购的货物或者服务的说明：
激光直写光刻机1套
拟采购的货物或服务的预算金额：440.0000000 万元（人民币）
采用单一来源采购方式的原因及说明:
半导体量子逻辑器件尺寸的不断微缩化，以及电子束曝光机的禁运限制，急需找到在电子束曝光之外的高精度加工设备，以满足批量制备半导体量子点逻辑器件的需求。经过调研高精度的激光直写光刻机是最具可行性的方案。为满足高精度、高速的加工半导体量子逻辑器件，我们在全球范围内对比了多种激光直写设备，目前只有Heidelberg Instruments生产的型号为DWL66+的激光直写光刻机最小线宽精度可以达到0.3 μm，满足需求。华格科技（苏州）有限公司是Heidelberg Instruments 在中国大陆的唯一代理商。
综上，特申请单一来源形式采购，通过华格科技（苏州）有限公司采购所需的激光直写光刻机。
二、拟定供应商信息
名称：华格科技（苏州）有限公司
地址：苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3
三、公示期限
2022年08月29日 至 2022年09月05日
四、其他补充事宜：
专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见附件。
由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
本公示在中国政府采购网发布。
五、联系方式
1.采购人
联系人：北京量子信息科学研究院
地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼
联系方式：登录即可免费查看 转 8052
2.财政部门
联系人：北京市财政局采购处
联系地址：北京市通州区承安路3号
联系电话：010-55592405
3.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看
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