年产120万片二氧化硅复合衬底技改项目PECVD设备采购项目[变更公告]
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：FJLYCGCS2022094
原公告的采购项目名称：年产120万片二氧化硅复合衬底技改项目PECVD设备采购项目
二、更正信息
更正事项：
1、（一）基本指标及配置要求1、的☆（5）载台温度范围：RT~400℃修改为：载台温度范围：RT~350℃；
2、（一）基本指标及配置要求★ 3、气体系统：供应工艺气体，包括 MFC、过滤器、气动阀等Gas3 PN2 流量3000-5000sccm修改为：3000-10000sccm；
其余要求不变
三、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1、采购单位：福建中晶科技有限公司 ，联系办法：
联系人： 登录即可免费查看 电话：登录即可免费查看
地址：福建省龙岩市永定区高陂镇高新园区 邮编：364000
2、招标代理机构：龙岩市公物采购招标代理有限公司
地址：龙岩市新罗区龙岩大道388号万宝广场B地块B楼龙岩市公共资源交易中心8层（浦发银行楼上）
联系人及电话：登录即可免费查看 登录即可免费查看
3.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话：登录即可免费查看
龙岩市公物采购招标代理有限公司
原公告的采购项目编号：FJLYCGCS2022094
原公告的采购项目名称：年产120万片二氧化硅复合衬底技改项目PECVD设备采购项目
二、更正信息
更正事项：
1、（一）基本指标及配置要求1、的☆（5）载台温度范围：RT~400℃修改为：载台温度范围：RT~350℃；
2、（一）基本指标及配置要求★ 3、气体系统：供应工艺气体，包括 MFC、过滤器、气动阀等Gas3 PN2 流量3000-5000sccm修改为：3000-10000sccm；
其余要求不变
三、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1、采购单位：福建中晶科技有限公司 ，联系办法：
联系人： 登录即可免费查看 电话：登录即可免费查看
地址：福建省龙岩市永定区高陂镇高新园区 邮编：364000
2、招标代理机构：龙岩市公物采购招标代理有限公司
地址：龙岩市新罗区龙岩大道388号万宝广场B地块B楼龙岩市公共资源交易中心8层（浦发银行楼上）
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3.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话：登录即可免费查看
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