北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机成交公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
一、项目编号：HCZB2023-157（招标文件编号：HCZB2023-157）
二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机
三、中标（成交）信息
供应商名称：锐时科技（北京）有限公司
供应商地址：北京市东城区北三环东路36号1号楼7层A709房间
中标（成交）金额：1042.8000000（万元）
四、主要标的信息
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。
本项目代理费总金额：7.0798000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1.采购方式：单一来源采购
2.采用单一来源采购方式的原因及说明：
电子束曝光是微纳米加工的核心技术，用于制备纳米器件并在纳米尺度下研究其量子现象，此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：
加速电压不低于50 kV；图形发生器扫描频率不低于50 MHz；最小线宽≤ 50 nm；500 μm写场下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm写场下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。
根据全球调研，国内无满足上述技术指标的类似产品，能够满足上述指标的厂家有日本的JEOL、Elionix、Crestec和德国的Raith。目前上述日本几家公司生产的产品已经对中国实施禁运，无法供货，只有德国Raith能正常供货。
锐时科技（北京）有限公司是德国Raith在中国的分公司，是在中国的唯一供货商。
综上，申请采用单一来源的采购方式，从锐时科技（北京）有限公司购置所需的1套电子束曝光机。
3.成交日期：2023年8月22日
4.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。
5.名称、数量、简要技术需求如下：
注：
标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应货物为进口产品，其响应文件按无效响应处理。 本项目共1个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。
6.合同履行期限：收到预付款后14个月内且出口文件获批后9个月内完成供货，以后到为准。
7.服务要求：详见单一来源采购文件。
8.本公告在中国政府采购网发布。
9.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京量子信息科学研究院
地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼
联系方式：登录即可免费查看 转 8052
2.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看
3.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话： 登录即可免费查看
二、项目名称：科研仪器设备电子束曝光机
三、中标（成交）信息
供应商名称：锐时科技（北京）有限公司
供应商地址：北京市东城区北三环东路36号1号楼7层A709房间
中标（成交）金额：1042.8000000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 锐时科技（北京）有限公司 | 主机和标准附件 | Raith | VOYAGER Max | 1台 | 登录即可免费查看.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
景立刚（自行聘请），吴建清（自行聘请），刘丽。
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：详见本项目单一来源采购文件内关于采购代理费的相关要求。
本项目代理费总金额：7.0798000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1.采购方式：单一来源采购
2.采用单一来源采购方式的原因及说明：
电子束曝光是微纳米加工的核心技术，用于制备纳米器件并在纳米尺度下研究其量子现象，此次拟采购的电子束曝光机须满足以下参数要求：
加速电压不低于50 kV；图形发生器扫描频率不低于50 MHz；最小线宽≤ 50 nm；500 μm写场下，拼接精度≤ 50 nm，套刻精度≤ 40 nm；1000 μm写场下，拼接精度≤ 100 nm，套刻精度≤ 80 nm。
根据全球调研，国内无满足上述技术指标的类似产品，能够满足上述指标的厂家有日本的JEOL、Elionix、Crestec和德国的Raith。目前上述日本几家公司生产的产品已经对中国实施禁运，无法供货，只有德国Raith能正常供货。
锐时科技（北京）有限公司是德国Raith在中国的分公司，是在中国的唯一供货商。
综上，申请采用单一来源的采购方式，从锐时科技（北京）有限公司购置所需的1套电子束曝光机。
3.成交日期：2023年8月22日
4.项目用途：北京量子信息科学研究院实验室使用。
5.名称、数量、简要技术需求如下：
| 序号 | 货物名称 | 数量 | 简要技术需求 |
| 1 | ▲电子束曝光机 | 1套 | ◆1、采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50 kV。 …… （详见单一来源采购文件第五章） |
注：
标注“▲”的，允许提供进口产品；未标注允许提供进口产品的，如供应商所响应货物为进口产品，其响应文件按无效响应处理。 本项目共1个包，供应商只可投完整包，不允许将一包中的内容拆开进行响应。
6.合同履行期限：收到预付款后14个月内且出口文件获批后9个月内完成供货，以后到为准。
7.服务要求：详见单一来源采购文件。
8.本公告在中国政府采购网发布。
9.由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京量子信息科学研究院
地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼
联系方式：登录即可免费查看 转 8052
2.采购代理机构信息
名 称：华诚博远工程咨询有限公司
地 址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼19层
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看
3.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话： 登录即可免费查看
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