复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目合同公告
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复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目合同公告 发布时间：2024-01-09 一、合同编号：11N06291516920231801 二、合同名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目合同 三、项目编号：QWQTJY2331（NBITC-202311364G） 四、项目名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所步进光刻机（0.5um）等仪器设备采购项目 五、合同主体 采购人（甲方）：复旦大学宁波研究院 地 址：前湾新区 联系方式：登录即可免费查看 供应商（乙方）：上海卓园微电子工程技术有限公司 地 址：上海真南路4268号B区2422号 联系方式：登录即可免费查看 六、合同主体信息 1.主要标的信息： 主要标的名称：步进光刻机（0.5um） 数量：2.00 单价（元）：4670000.00 规格型号（或服务要求）：品牌:ASML 规格型号:Asml Pas 5000/50 I-Line Stepper 主要标的名称：栅氧前清洗机 数量：1.00 单价（元）：3000000.00 规格型号（或服务要求）：品牌:FSI Mercury 规格型号:FSI Mercury OC Wet Cleaning 主要标的名称：LPCVD立式炉 数量：1.00 单价（元）：4460000.00 规格型号（或服务要求）：品牌:Kokusai 规格型号:Kokusai Vertron III DJ803/813V LPCVD 2.合同金额（元）：登录即可免费查看.00 3.履约期限、地点等简要信息：甲方指定地点,合同签订后9个月内 4.采购方式：公开招标 七、合同签订日期：2023年12月27日 八、合同公告日期：2024年01月09日 九、其他补充事宜：无 宁波市国际招标有限公司 附件信息： 光刻机等合同.pdf |
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