干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置中标结果公告(1)
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项目名称 | 省份 | ||
业主单位 |
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业主类型 | |
总投资 | 建设年限 | ||
建设地点 | |||
审批机关 | 审批事项 | ||
审批代码 | 批准文号 | ||
审批时间 | 审批结果 | ||
建设内容 |
项目名称:干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
项目编号:0613-214022210033/03
招标范围:干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:华虹半导体(无锡)有限公司
开标时间:2021-02-03 09:30
公示时间:2021-02-20 11:45 - 2021-02-23 23:59
中标结果公告时间:2021-03-01 18:14
中标人:上海昭和电子化学材料有限公司
制造商:上海昭和电子化学材料有限公司
制造商国家或地区:中国
项目编号:0613-214022210033/03
招标范围:干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:华虹半导体(无锡)有限公司
开标时间:2021-02-03 09:30
公示时间:2021-02-20 11:45 - 2021-02-23 23:59
中标结果公告时间:2021-03-01 18:14
中标人:上海昭和电子化学材料有限公司
制造商:上海昭和电子化学材料有限公司
制造商国家或地区:中国