干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置中标结果公告(1)
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目名称：干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
项目编号：0613-214022210033/03
招标范围：干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：华虹半导体（无锡）有限公司
开标时间：2021-02-03 09:30
公示时间：2021-02-20 11:45 - 2021-02-23 23:59
中标结果公告时间：2021-03-01 18:14
中标人：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商国家或地区：中国
项目编号：0613-214022210033/03
招标范围：干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：华虹半导体（无锡）有限公司
开标时间：2021-02-03 09:30
公示时间：2021-02-20 11:45 - 2021-02-23 23:59
中标结果公告时间：2021-03-01 18:14
中标人：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商国家或地区：中国
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