193nm深紫外干式扫描式光刻机评标结果公示公告(1)
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
| 建设地点 | |||
| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目名称：193nm深紫外干式扫描式光刻机
招标项目编号：0613-214022216187/01
招标范围：193nm深紫外干式扫描式光刻机
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：华虹半导体（无锡）有限公司
开标时间：2022-01-04 09:30
公示开始时间：2022-01-11 16:19
评标公示截止时间：2022-01-14 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：0613-214022216187/01
招标范围：193nm深紫外干式扫描式光刻机
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：华虹半导体（无锡）有限公司
开标时间：2022-01-04 09:30
公示开始时间：2022-01-11 16:19
评标公示截止时间：2022-01-14 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 阿斯麦（上海）机电设备有限公司 | ASML Netherlands B.V | 荷兰 |
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