193nm深紫外干式扫描式光刻机中标结果公告(1)
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项目名称 | 省份 | ||
业主单位 |
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业主类型 | |
总投资 | 建设年限 | ||
建设地点 | |||
审批机关 | 审批事项 | ||
审批代码 | 批准文号 | ||
审批时间 | 审批结果 | ||
建设内容 |
项目名称:193nm深紫外干式扫描式光刻机
项目编号:0613-214022216187/01
招标范围:193nm深紫外干式扫描式光刻机
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:华虹半导体(无锡)有限公司
开标时间:2022-01-04 09:30
公示时间:2022-01-11 16:19 - 2022-01-14 23:59
中标结果公告时间:2022-01-17 14:08
中标人:阿斯麦(上海)机电设备有限公司
制造商:ASML Netherlands B.V
制造商国家或地区:荷兰
项目编号:0613-214022216187/01
招标范围:193nm深紫外干式扫描式光刻机
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:华虹半导体(无锡)有限公司
开标时间:2022-01-04 09:30
公示时间:2022-01-11 16:19 - 2022-01-14 23:59
中标结果公告时间:2022-01-17 14:08
中标人:阿斯麦(上海)机电设备有限公司
制造商:ASML Netherlands B.V
制造商国家或地区:荷兰