等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备评标结果公示公告(1)
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| 项目名称 | 省份 | ||
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目名称：等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备
招标项目编号：0705-214020603470
招标范围：采购等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力集成电路制造有限公司
开标时间：2021-11-02 14:00
公示开始时间：2021-11-04 10:23
评标公示截止时间：2021-11-08 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：0705-214020603470
招标范围：采购等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备
招标机构：上海国际招标有限公司
招标人：上海华力集成电路制造有限公司
开标时间：2021-11-02 14:00
公示开始时间：2021-11-04 10:23
评标公示截止时间：2021-11-08 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 拓荆科技股份有限公司 | 拓荆科技股份有限公司 | 中国 |
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