清华大学磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt）公开招标公告
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| 项目名称 | 省份 | ||
| 业主单位 |
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业主类型 | |
| 总投资 | 建设年限 | ||
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| 审批机关 | 审批事项 | ||
| 审批代码 | 批准文号 | ||
| 审批时间 | 审批结果 | ||
| 建设内容 | |||
项目概况
清华大学磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt） 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年07月27日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第2022162号
项目名称：清华大学磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt）
预算金额：600.0000000 万元（人民币）
采购需求：
设备用途介绍 ：该设备应用于微机电系统（MEMS）和先进集成封装制造过程中的物理气相沉积工艺，主要用于钛（Ti）、铬（Cr）、金（Au）、铂（Pt）等金属薄膜的磁控溅射沉积。
简要技术指标 ：
1）尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）真空度：< 1.0×10-7 Torr；
3）工艺室真空抽速：从大气到 1.0 ×10-6 Torr 需要时间 ≤ 110 分钟；
4）成膜片内、片间、批次间均匀性≤5%。
合同履行期限：交货时间：合同签订后300日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
三、获取招标文件
时间：2022年07月05日 至 2022年07月12日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年07月27日 10点00分（北京时间）
开标时间：2022年07月27日 10点00分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
无
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看；肖天鹏，62780052（技术咨询）
2.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话： 登录即可免费查看
清华大学磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt） 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年07月27日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第2022162号
项目名称：清华大学磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt）
预算金额：600.0000000 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| 01 | 磁控溅射台（Ti/Cr/Au/Pt） | 1套 | 是 |
设备用途介绍 ：该设备应用于微机电系统（MEMS）和先进集成封装制造过程中的物理气相沉积工艺，主要用于钛（Ti）、铬（Cr）、金（Au）、铂（Pt）等金属薄膜的磁控溅射沉积。
简要技术指标 ：
1）尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）真空度：< 1.0×10-7 Torr；
3）工艺室真空抽速：从大气到 1.0 ×10-6 Torr 需要时间 ≤ 110 分钟；
4）成膜片内、片间、批次间均匀性≤5%。
合同履行期限：交货时间：合同签订后300日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
三、获取招标文件
时间：2022年07月05日 至 2022年07月12日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年07月27日 10点00分（北京时间）
开标时间：2022年07月27日 10点00分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
无
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处
联系方式：登录即可免费查看，登录即可免费查看；肖天鹏，62780052（技术咨询）
2.项目联系方式
项目联系人：登录即可免费查看
电 话： 登录即可免费查看
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