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电感耦合等离子体刻蚀机

基本信息
项目名称 省份
业主单位 业主类型
总投资 建设年限
建设地点
审批机关 审批事项
审批代码 批准文号
审批时间 审批结果
建设内容
一、合同编号: XS2016040029FA
二、合同名称: 电感耦合等离子体刻蚀机
三、项目编号: OITC-G210311993
四、项目名称: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所电感耦合等离子体刻蚀机采购项目
五、合同主体
采购人(甲方): 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地 址: 苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
联系方式:登录即可免费查看
供应商(乙方):北京北方华创微电子装备有限公司
地 址:北京市经济技术开发区文昌大道8号
联系方式:登录即可免费查看
六、合同主要信息
主要标的名称:电感耦合等离子体刻蚀机
规格型号(或服务要求):HSE200S
主要标的数量:1
主要标的单价:登录即可免费查看
合同金额: 180.000000万元
履约期限、地点等简要信息:苏州纳米所,3个月内交货
采购方式: 单一来源
七、合同签订日期:
2022-03-28
八、合同公告日期:
2022-04-02
九、其他补充事宜:
本合同对应的中标成交公告:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所电感耦合等离子体刻蚀机采购项目成交公告
附件:
2.电感耦合等离子体刻蚀机合同.pdf
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